浙大吴汉明院士主编的《集成电路制作大生产的根本工艺技能》荣获浙江大学出书社40年要点好书

  4月28日，恰逢浙江大学出书社建社40周年，由浙江大学、我国出书协会学术出书作业委员会主办，浙江大学出书社、浙江大学数字出书研究中心承办的“前言交融下学术出书高水平质量的开展研讨会”在杭举行。

  研讨会上，发布了浙江大学出书社40年40种要点好书。本次发布的40种好书，是从出书社已出书的20000余种图书中，依据文明价值、社会影响、商场反应等维度，经过多轮评选，终究选出的最具代表性的图书。我院吴汉明院士主编的《集成电路制作大生产的根本工艺技能》（2023年出书）当选，一起当选的还有国家级严重文明工程“我国历代绘画大系”等一批有影响、受好评的优异出书物。

  《集成电路制作大生产的根本工艺技能》的编写，瞄准工业大生产技能使用，以产教交融理念支撑新工科建造，内容触及集成电路制作工艺、规划制作一体化、配备资料、PDK等很多范畴。本书主编吴汉明院士长时间作业在我国集成电路芯片工业，掌管、参加了包含国家严重专项在内的0.13微米至14纳米七代芯片大生产的根本工艺研制技能，霸占了刻蚀等一系列要害工艺难点。学院共有15位教师参加了本书编写作业，部分兼聘教授参加本书编审作业。

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