万业企业旗下凯世通向战略新客户交给超低温离子注入机

  股份有限公司（以下简称“凯世通”），成功向一家新签集成电路战略客户交给一台超低温离子注入机，这是继向该客户交给首台低能大束流设备一个月后的又一严重进展，标志着凯世通在集成电路严重配备国产化与产业化方面再迎新打破。

  材料显现，离子注入机是芯片制作的要害配备，凯世通致力于为集成电路职业客户供给功能先进、安稳牢靠的离子注入设备与技能解决方案。今年以来，凯世通继续发力，累计交给二十余台高端离子注入机，合计服务十一家12英寸晶圆厂客户产业化大生产。

  介绍称，超低温离子注入工艺大多数都用在晶圆预非晶化处理，可有实际效果的削减晶体缺陷，下降漏电流，然后提高晶体管功能，具有极高的技能难度。凯世通根据自主立异霸占了超低温晶圆冷却及回温技能、颗粒污染操控技能，超低温注入工艺技能等一系列要害技能，研制出超低温低能大束流离子注入机，可完成零下100下的预非晶化离子注入，具有高牢靠性、高均匀性等优势，满意了干流晶圆厂量产需求。