「美对华半导体操控晋级」半导体量检测技能及使用网络研讨会明日开播！

  第三届“精细丈量与先进制作”网络会议将于12月5-6日举行，特别设置【半导体量检测】专场，诚邀您免费参会。

  12月2日晚间，美国工业和安全局 (BIS) 修订了《出口管理条例》(EAR)，将 140个我国半导体职业相关实体添加到“实体清单”。其间，对24种半导体制作设备做新的操控，包含刻蚀、堆积、光刻、离子注入、退火、量测、查看以及清洁东西。

  据悉，半导体晶圆的整个制作流程包含400至800道工序，耗时大约一至两个月。若在此杂乱流程的前期阶段呈现任何缺点，后续耗时且精细的加工过程都将付诸东流。因而，在半导体制作的要害环节树立量测与检测流程，关于保证并保持高良率至关重要。

  指对被观测的晶圆电路上的结构尺度和资料特性做出的量化描绘，如薄膜厚度、要害尺度、刻蚀深度、外表描摹等物理性参数的量测；

  检测指在晶圆外表/深层上或电路结构中，检测其出没呈现异质状况，如颗粒污染、外表划伤、内中缺点、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺点。为应对美国对我国半导体职业的操控晋级，为半导体产业链供给可代替的量测与检测解决方案，仪器信息网将于12月5-6日举行第三届“精细丈量与先进制作”网络会议，特别设置【半导体量检测】专场，特邀中科院微电子所周维虎研讨员、布鲁克使用司理黄鹤、中科院上海光机所苏榕研讨员、西安交通大学杨树明教授带来精彩共享。

  （点击报名）周维虎研讨员长时间从事精细光电丈量技能与仪器研讨，掌管科技部严重仪器专项、国家要点研制方案、天然基金严重仪器专项、国防科工局要点预研、配备发展部军用测验仪器、中科院仪器配备项目等50余项精细丈量与仪器类课题，取得我国机械工业科学技能创造特等奖、我国计量测验学会技能创造一等奖等7项省部级奖赏，宣布论文近200篇，申请专利近50项，编写教材1部，起草国家计量检定规程和标准4部，取得国务院特殊津贴、中科院朱李月华优秀教师奖、江苏省双创领军人才、青岛市立异领军人才等称谓。成功研制世界上首台飞秒激光盯梢仪、国内首台三自由度激光盯梢仪和六自由度激光盯梢仪，打破了国外在激光盯梢丈量范畴的技能独占。担任我国科学院大学岗位教授、博士生导师，北京航空航天大学、华中科技大学、大连理工大学、吉林大学、合肥工业大学等十余所高校兼职教授和博士生导师，南京航空航天大学特聘教授，湖北工业大学楚天学者教授。担任《计测技能》、《测控技能》、《我国测验》和《光电子》期刊编委，《Optical Engineering》、《我国航空学报（中、英文）》等十余份国内外期刊审稿人。

  （点击报名）黄鹤博士现任布鲁克公司纳米外表仪器部我国区使用司理。服务于工艺设备和丈量仪器职业超越15年，尤其在半导体、数据存储和资料外表工程研讨范畴具有丰厚经历，是一名资料学博士。黄鹤博士先后在香港理工大学任助研；在使用资料公司任高档使用工程师，担任化学机械抛光工艺和缺点查验测验使用；在维易科公司任使用科学家，担任白光干与三维描摹技能推广与导入。

  首要讨论布鲁克的原子力显微镜和白光干与仪在半导体资料制备、器材制程和失效剖析上的典型使用。榜首部分将介绍布鲁克纳米外表量测部的首要技能类型，原子力显微镜和白光干与仪的原理。第二部分将具体举例说明在半导体资料制备、器材制程和失效剖析中典型使用事例。第三部分将讨论不同精细丈量办法的特色和差异。

  （点击报名）苏榕，现任我国科学院上海光学精细机械研讨所研讨员，博士生导师，高端光电配备部副部长。2007年结业于中山大学物理系，后获瑞典皇家理工大学硕士、博士学位。曾上任于英国国家物理实验室及诺丁汉大学，长时间从事超精细光学干与、散射及标明描摹丈量仪器与技能讨论研讨，聚集仪器研制、物理仿真、中心算法、校准技能、工业使用及相关世界标准拟定。宣布论文40余篇，书本章节2章。担任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学发展》青年编委，全国产品几许技能标准标准化技能委员会（SAC/TC240）委员，我国计量测验学会计量仪器专业委员会委员，我国仪器仪表学会显微分会委员，我国仪器仪表学会集成电路丈量与仪器分会委员。陈述摘要：

  显微干与丈量技能，包含白光干与仪、光学相干层析、定量相位成像、数字全息显微等，被大范围的使用于资料科学、半导体、光学、生命科学等范畴。经过结合干与丈量和显微成像，可以在微观尺度上完成无触摸、高分辨率的外表描摹丈量，具有高精度和高灵敏度的特色。本陈述将从原理、使用、要害目标几个方面介绍咱们团队在该范畴的作业。

  杨树明，西安交通大学二级教授，博士生导师，国家杰出青年基金取得者、国务院学位委员会学科评议组成员、国家要点研制方案首席科学家、教育部新世纪优秀人才、陕西省要点科学技能立异团队带头人等。承当国家及省部级严重要点项目20余项，宣布学术论文200多篇，出书专著2部和论文集5部，授权/揭露世界国内创造专利100余件，立项国家标准2项，取得科技奖赏10余项。被遴选为世界纳米制作学会（ISNM）会士、亚洲精细工程与纳米技能学会（ASPEN）理事；担任我国计量测验学会常务理事、我国微米纳米技能学会微纳米丈量与仪器分会副理事长、我国仪器仪表学会集成电路丈量与仪器分会副主任委员、我国计量测验学会几许量专业委员会副主任委员、我国机械工程学会微纳制作技能分会副主任委员等。在世界和国内学术会议应邀做大会陈述和特邀陈述100余次，担任JMS、IJPEM-GT、IJRAT、FME、NMME、IJEM、MST、PE、IJAMT、Photonics等世界期刊编委和客座编委以及多个国内期刊编委等。

  该陈述将介绍碳纳米管探针、光学纳米探针和复合纳米探针的可操控备办法，并介绍三类探针在芯片结构尺度丈量以及缺点查验测验方面的使用。

  1) 报名后，直播前一天助教会一致审阅，审阅经往后，会发送参会链接给报名手机号。填写不完整或填写内容唐塞将不予审阅。

  2) 经过审阅后，会议当天您将收到短信提示。点击短信链接，输入报名手机号，即可参会。